클린룸 공간 사용
클린룸 공간사용 목적한국나노기술원이 보유한 클린룸을 최대한 효율적으로 활용하고, 나노기술관련 산·한·연 관련 기관에서 최신 클린룸 설비를 활용한 성능평가, 연구개발 등의 기회를 제공하여 연구성과 확대 및 사업화 잠재력 확충을 지원하기 위하여 우수기관을 모집하고자 함
공간 사용 자격
- 『벤처기업육성에 관한 특별조치법』에 의한 벤처기업
- 『기술개발촉진법』에 의한 기업부설연구소
- 『외국인투자촉진법』에 의한 외국인 투자기업 및 연구소
- 공공 시험·연구기관 또는 이에 준하는 기관
입주 업종
- 나노기술분야 관련 업종
- 신기술 및 지식집약형 업종 (정보통신, 전기/전자, 반도체, 소프트웨어 등)
클린룸 사용가능 공간 및 시간
| 구분 | 구성 | Class(청정도) | 비고 |
|---|---|---|---|
| 팹동 클린룸 | - Fab(클린룸) -Sub Fab(Utility) |
Class 100 ~ 1,000 | FFU 방식 (FFU : Fan Filter Unit) |
제공 평수기준
- 기술원과 별도 협의로 조정 가능
- 사용 희망면적은 전용면적을 기준으로 하며, 계약면적은 전용면적과 공용면적을 포함함
사용료
- 기본사용료 : 공간 사용료
- 기본적으로 서비스료는 600만원/3.3m²년을 기준으로함.
-
단, 중소기업 및 연구기관의 이용 활성화를 위해 해당 업체에 대해 아래와 같이 서비스료를 정함
※ 입주보증금은 해당사항 없음
-
사용료 안내 : 사용시간, 서비스료, 비고로 구성 사용시간 서비스료 비고 08시 ~ 24시(기본시간) 350만원/3.3㎡·년 기본 Utility 제공
/Class 100기준추가 8시간(24시간사용) 사용기간 및 면적 등을
고려하여 협의 후 결정※ 보증금(기본사용료 10개월分) 별도
※ 상기 요율은 물가변동률에 따라 증감 될 수 있으며, 대기업 및 공공기관의 경우 600만원/3.3m²년을 원칙으로 한다.
-
- 기본 Utility 범위
- PCW, UPW, CAD, P-VAC
- Exhaust (Toxic, Acid, Alkali, Organic, Heat)
- Drain (Acid, Alkali, Organic, HF, UPW Reclaim)
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Utility운영 전기료, LNG 등 포함
* 단, 설비 특성에 따라 기본 Utility는 조정될 수 있음 (예:MOCVD 등)
- 추가사용료
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- 전기료(장비) 계량기 부착하여 사용료 별도 부과
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기본 Utility外 추가 Utility는 기술원과 입주기관 간 협의 하에 특약으로 결정
※ Special Gas의 경우 업체가 기술원 보유 Gas 구매사용을 원칙으로 하고, 미보유 Gas의 경우에도 기술원과 별도 협의 후 이용하는 것을 원칙으로 한다.
- Utility 수선유지비, Smock 관리비등은 실비 부과
절차 및 일정
- 절차
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- STEP1 접수
- STEP2 서류검토
- STEP3 심사 및 평가
- STEP4 최정 선정
- STEP5 계약&입주
- 일정
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- 신청서 접수 : 공고일 이후부터
- 적격업체 심사 : 신청서 접수 時 수시로 실시
- 적격업체 최정 선정 및 개별고지
- 계약 체결 및 입주
제출서류
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공간 사용신청서 및 사업계획서 3부 (원본 1부, 사본 2부) (소정양식)
사용신청서 및 사업계획서(HWP) - 사업자등록증 사본 1부
- 법인등기부동분 1부
- 외국인투자기업등록증 (해당기업에 한함)
- 기타 증빙서류
제출방법 및 제출처
- 제출방법 : 방문 또는 우편접수
-
- 접수 및 문의처
- 주소 : 경기도 수원시 영통구 권광로 511(이의동) 2층 한국나노기술원 환경안전실 김영완 책임
- Tel : 031-546-6519, E-mail : youngwan.kim@kanc.re.kr
기타
- 소정양식은 당 기술원 홈페이지(http://www.kanc.re.kr)에서 내려 받을 수 있음
- 제출된 서류는 반환이 불가하며, 우편접수는 마감일 도착분에 한함
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기타사항은 기술원 관리규정에 따르며, 기술원 사정에 따라 공고의 내용은 다소 변경 가능.
클린룸 Layout (JPG) 사용서약서(HWP)
