주요사업 및 성과
나노팹 서비스를 통한 지역경제 활성화 및 국가산업발전에 기여
- 나노팹 활용 사업
- 고객친화형 팹 서비스 (맞춤형 One-Stop 서비스)
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- 신속 정확한 공정 및 분석서비스 제공
- 고품위 공정 및 분석서비스 기반 확립
- 이용자 중심의 개방형 팹운영(Open Fab)
- 지속적인 장비고도화 추진
- 핵심 선행공정 및 분석기술개발
- 미래부 ‘화합물반도체 선행공정 기술 플랫폼 개발사업’
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- 단순 공정지원의 팹서비스가 아닌 수요자의 고부가 가치 및 집적화 요구에 부응하여 나노기술 및 시장 수요 변화에 선제적 대응
- 고객 지향형 다양한 소자설계 및 기술컨설팅 시스템 운영
- 중장기 계획 (9년간 / 22개 기술 우선 개발)
| 연도 | 팹활용 건수 | 장비가동률(%) | 핵심 나노공정ㆍ분석기술개발 건수 | 기업 등 애로기술 지원건수 |
|---|---|---|---|---|
| 2007년 | 5,485 | 23% | - | - |
| 2008년 | 7,734 | 33.3% | - | - |
| 2009년 | 10,099 | 43.5% | 2 | - |
| 2010년 | 10,237 | 52.8% | 3 | 10 |
| 2011년 | 11,132 | 57.1% | 9 | 14 |
| 2012년 | 11,700 | 57.5% | 9 | 12 |
| 2013년 | 11,689 | 60.8% | 23 | 9 |
| 2014년 | 10,861 | 59.4% | 19 | 7 |
| 2015년 | 11,689 | 55.0% | - | - |
| 2016년 | 14,145 | 56.4% | - | - |
- 이용자 지원 정부 사업 추진
- 과학기술정보통신부
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- 대학연구자 지원 대학연구자의 장비사용료의 70% 또는 90%를 지원
- 기대효과 나노 기초원천기술개발을 촉진하고 대학의 연구능력을 제고
- 중소벤처기업부 『연구장비공동활용지원사업』
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- 중소기업 지원 중소기업 장비사용료의 60% 또는 70%를 온라인 바우처로 지원
- 기대효과 대학 및 연구기관이 보유한 첨단 연구장비의 중소기업 공동활용을 지원하여 국가장비 활용도 제고 및 중소기업 기술경쟁력 향상 기반 마련
- 핵심공정 · 분석기술개발 주요성과
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- GaN Nanorod Growth를 위한 SiO2 Nano Hole Array 패턴 형성
- GaN 소자 개발을 위한 SiC Deep Etch Process
- Au-In Low Temperature Bonding 공정
- 1차원 구조의 금속산화물 나노소재 패턴형성
- Direct Patterning of SiO2 by E-beam Lithography
- ITO 나노패턴을 이용한 GaN-based LED 광 추출 효율향상
- 포토리소그래피 및 전해도금 기술을 이용한 나노패턴이 형성된 유연금속기판
- 집속이온빔을 이용한 단면 TEM 시편 제작기술
- 애로기술지원 주요성과
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- MEMS Si guide 제작 요청에 따른 Si High Aspect Ratio Deep RIE 공정
- ICP 방식을 이용한 Si isotropic Etching 공정
- Color Filter 제작을 위한 Ag Nono Hole Array형 구현 공정
- VLED 제작공정을 위한 AIN와 GaN 식각 선택비 향상 공정
- Nano Particle을 이용한 GaN 미세패턴 식각공정
- 20nm급 전극 패터닝 공정
- 수직 정렬형 ZnO 나노로드 패턴 공정
- Photonic Device 적용을 위한 30nm급 나노패턴 공정
- 고감도 E-Beam Resist 나노패턴 공정
- Electro-plating을 이용한 Low Stress 고품질 Ni 패턴형성 공정
- 지역별 및 기관별 활용현황
연구지원 역량강화를 통한 미래성장동력사업 육성
현장실무형 나노기술 고급인력양성 및 일자리 창출시스템 구축
나노 1인 창조기업 비즈니스센터
창업맞춤형사업화지원사업
- 사업목적
- 사업화 가능성이 높은 창업자를 주관기관과 연계하여 발굴 육성하여 빠른 수익 창출 실현
- 지원대상
- 3년 미만 창업기업(또는 창업자) 연간 20개 기업
- 지원기간
- 3년
- 특화분야
- 나노, 전기전자, 정보통신
- 지원 내용
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- 자금
- 최대 3천만원 (연간)
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- BM (비즈니스 모델) 개발
- 아이템 검증 개발
- 시장진입
- 서비스
- 최대 2천만원 (연간)
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- 전문가 멘토링
- 엑셀러레이팅
청소년들의 미래진로체험을 위한 한국나노기술원 nanoSTEM 나노융합과학교육
- 한국나노기술원 nanoSTEM 교육기부 프로그램
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- 초 · 중 · 고등학교 학생들을 대상으로 한 미래진로체험 교육
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학교방문형 및 한국나노기술원 방문형으로 구성된 다양한 체험형 STEAM 교육 프로그램 운영
학교방문형 나노과학동아리 / 방과후나노학교 / 나노특강
기관방문형 토요나노교실 / 나노체험(1박 2일) / 나노캠프(2박 3일)
- nanoSTEAM 대학생 연합봉사단
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- nanoSTEM 교육 강사로 활동하는 대학생 교육봉사단 (’15. 9 기준 30개 대학 180여명 활동)
- 한국나노기술원에서 운영하는 15주간의 나노융합과학교육 강사훈련과정 수료 후 교육봉사 실시
- nanoSTEM 개요
- 나노과학 (nano Science), 나노 기술 (nanoTechnology), 나노 공학 (nano Engineering), 예술 (Arts), 수학 (Mathematics)를 융합한 쉽고 재미있는 참여형 체험교육
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nanoSTEM 교육기부 프로그램-
- 나노STEAM 교육프로그램 및 교재 개발
- 나노STEAM 강사훈련 및 육성
- 청소년대상 STEAM 교육 실시
- 나노STEM 대학생 교육봉사단 운영
- 교육협력학교 네트워크
- 학교방문형 프로그램 (정규수업과정에 편성)
- 나노과학동아리 협력학교별 년 10회 이상
- 방과후 나노학교 협력학교별 년 10회 이상
- 나노특강 3시간이내 특별수업
- 기관방문형 프로그램
- 토요나노교실 (1일) 09:00~16:30
- 나노체험 (2일/1박) 금~토 월 1회 이상
- 나노캠프 (3일/2박) 여름 · 겨울방학 각4회(총 8회)
- 대한불교조계종 봉녕사 템플스테이 프로그램 및 숙식 제공(1박, 2박)
경기도내 초 · 중 · 고교-
- 행정지원
- 예산지원
- 융합인재(STEAM)교육
- 진로체험, 자유학기
- nanoSTEAM 나노융합과학교육 협력학교 네트워크 (’15. 9 기준, 37개교)
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부천
- 운산고등학교
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과천
- 부홍고등학교
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시흥
- 시흥매화고등학교
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안산
- 용호고등학교
- 상록고등학교
- 안산시청소년수련관
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수원
- 광교초등학교
- 남수원중학교
- 곡선중학교
- 청명중학교
- 영신중학교
- 다산중학교
- 수원제일중학교
- 수일여자중학교
- 연무중학교
- 원천중학교
- 창용중학교
- 권선고등학교
- 광교고등학교
- 효원고등학교
- 동우여자고등학교
- 동원고등학교
- 조원고등학교
- 창헌고등학교
- 수원청소년희망등대센터
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성남
- 보평고등학교
- 성일정보고등학교
- 이매고등학교
- 풍생고등학교
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용인
- 신봉고등학교
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이천
- 장호원고등학교
- 효양고등학교
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양평
- 양일고등학교
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남양주
- 예봉중학교
- 진건고등학교
- 평내고등학교
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구리
- 구리고등학교
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